真空科学与技术学报杂志社
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《真空科学与技术学报》2022年07期

 
目录
综述评述
等离子体熔融技术在核电站放射性废物处理中的研究应用现状陈思邈;程昌明;李平川;张帆;袁青青;483-490
研究快报
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置王魁波;罗艳;吴晓斌;491-496
基于EPICS的EAST真空集控系统设计陈跃;李保生;袁啸林;周跃;左桂忠;庄会东;余耀伟;吴金华;侯吉磊;胡建生;497-503
研究论文
双靶共溅射沉积碳掺杂AlN薄膜的光学性能研究黄佳楠;陆文琪;徐军;504-510
氮化铬反应磁控溅射的状态空间模型预测控制孔令刚;王壮;黄凯;511-516
基于COMSOL的星载四极质谱仪仿真分析张志良;孙越强;李永平;郑晓亮;艾讲赵;517-524
基于变速调节的转子泵流体脉动降低方法研究李辉;韩伟涛;王唱;张建华;525-532
空心阴极自脉冲放电的时空演化特性王绥凯;乔音音;张雅;何寿杰;李庆;533-540
MPCVD二维扩大生长单晶金刚石高登;马志斌;541-546
基于响应面法的H13模具钢激光增材再制造工艺优化张杰;徐兵;段佳伟;刘子敬;翁子清;547-554
直膨式太阳能集热器“Y”型流道单元的传热分析与结构优化于洋;任玉斌;贾智旗;王关;王强;张孝德;张祥;555-562
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