目录
综述评述
超灵敏度真空检漏技术进展 董云宁;闫睿;梁进智;魏萌萌;余荣;崔健;崔玉妹;佟亚珍;王欢;王汐月;陈俊儒;杨传森;齐京;卢耀文;647-653
研究快报
PECVD法制备氟碳聚合物涂层工艺参数对涂层形貌及性能影响 倪海鹰;陈军;654-657
CdZnSe/ZnSe/ZnSeS量子点材料的制备及其量子点电致发光器件性能研究 黄桥灿;杨尊先;郭太良;658-664
研究论文
基于不同神经网络的DLC薄膜综合性能预测的对比研究 陈志立;梁帅;李国浩;赵执鹏;刘宇泰;杜广煜;665-673
不同加热温度下泡沫金属芯钠热管启动性能试验研究 马婷婷;朱昌健;李阳;王小兵;李森;674-680
库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究 孙诗壮;赵晋荣;681-688
低真空管路中颗粒传输特性研究 党伟;王旭迪;张俊;毕海林;吴俊;689-696
阵列式针-环自激发等离子体射流装置实现大面积灭菌 周正;张雨晗;王风云;杜晓霞;周芳;李华;697-705
双吸式液环泵内流场及壳体压力脉动分析 张耀文;孟凡瑞;马晓钟;赵旭;王云飞;706-714
典型截止节流阀空化特性分析 王芊婷;王均宇;张克鹏;宋永兴;张林华;李建军;715-723
技术交流
3D NAND存储芯片生产线CMP工艺及设备配置研究 程星华;白帆;赵馨飞;邱雪皎;724-730