目录
真空技术与理论
锂离子电池真空烘烤箱内通气管道结构优化设计姜钊;关玉明;商鹏;邱子桢;353-357
种新的色谱重叠峰实时定量方法吴杭;俞建成;张俊良;朱强;358-362
事件触发式实验粒子蒙特卡洛方法模拟分子流真空系统的三维压力分布刘佰奇;马永胜;郭迪舟;何平;363-368功能薄膜
调控CN_x薄膜的紫外可见波段光学性能研究毛娟;熊政伟;曹林洪;369-374
单斜氧化铜薄膜的磁控溅射制备及表征杜永利;郜小勇;高旭斌;张鑫;孟雪;375-379
退火温度对氢掺杂AZO薄膜热稳定性的影响李乐;苌瑞广;刘智;朱志立;谷锦华;380-383等离子体技术
低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响耿传文;马志斌;夏禹豪;李艳春;衡凡;384-389
热丝化学气相沉积纳米金刚石修复损伤PCD刀具的研究许青波;王传新;王涛;代凯;王振湉;390-395
SF6在电离层释放作用过程分析评价白云;史红星;王庚;张远鹏;迟卉;396-399工艺设备
工作参数对电场增强高功率脉冲磁控溅射的调制作用研究李春伟;田修波;徐淑艳;郑权;张群利;陈春晟;张旭;400-406
高压气体驱动锂球弹丸混合注入系统的研发庄会东;张晓东;胡建生;陈鑫鑫;407-412
双热源合成碳化硅过程的三维数值模拟及窑炉结构优化设计杨小玉;张晴;413-418纳米技术
基于分子动力学方法模拟硅功能化石墨烯纳米压痕过程惠治鑫;陆万顺;柳小林;马旭;419-426
β-Ga2O3纳米线的制备技术及其应用研究进展张浩;邓金祥;孔乐;李瑞东;潘志伟;白志英;427-433其他
叠片结构对铜抗热疲劳性能的影响研究李曙丹;王波;刘云辉;齐艳飞;李萌;马玉田;434-441
《真空科学与技术学报》征稿说明442