目录
研究快报
低能强流高电荷态离子加速器RFQ真空系统设计 张鹏;游志明;贾欢;文俊;赵玉刚;牛小飞;1-6
EAST托卡马克中性气压原位测量实验研究 周德泽;余耀伟;曹斌;潘浩;左桂忠;胡建生;7-12
研究论文
磁悬浮转子真空计转子轴向悬浮建模与优化设计 李博文;李得天;习振华;郭美如;周明旭;贾文杰;任正宜;李宇;13-20
HALF银铜管道的多腔TiZrV镀膜初步研究 赵壮;马文静;葛晓琴;王思慧;洪远志;尉健亚;张善才;范乐;21-28
1.3 GHz高频铜腔磁控溅射镀铌工艺研究 马永胜;段海长;戴劲;张沛;杨雨晨;何平;董海义;29-35
C4F6/SF6混合气体对硅基材料的ICP刻蚀工艺研究 陈长鸿;王妹芳;孙一军;孙颖;孙家宝;刘艳华;刘志;谢石建;36-41
面向负压成型系统的缺陷改进评价方法研究 王勇;朱国栋;杨江帆;纪琦峰;周际;刘建辉;鲁兵;42-50
真空断路器弧后等离子体探针诊断系统 葛国伟;陈里昂;程显;陈辉;杜帅;51-59
Ga2O3真空碳热还原实验研究 陈浩林;谢克强;张燕;梁可;杨坤;高亮;符德正;60-65
冷孔板角对涡流管能量分离性能的影响 李冬梅;张菁;刘冀宁;梁法春;唐国祥;曾庆港;66-71
基于Fluent的批量型原子层沉积反应器流场分析及实验研究 吴梓岚;万军;马吉恩;蔡晋辉;徐雅;李轶凡;兰丽丽;72-78
文章简介 20